真空腔：真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。復雜的真空腔體通常需要定制，即針對應用終端進行專門的設計和制作。真空腔中可以放置相應的真空直線平臺或真空轉臺實現多維的

真空轉臺：真空轉臺是由英國AML生產的D35.1的真空步進電機以及二 硫化鉬鍍層的不銹鋼臺面組成，轉速可以達到36°/s，整步分別率0.003°，承載10kg，真空度1x10-8Pa，烘烤溫度200℃

真空旋轉平臺：真空轉臺是由英國AML生產的D35.1的真空步進電機以及二 硫化鉬鍍層的不銹鋼臺面組成，轉速可以達到36°/s，整步分別率0.003°，承載10kg，真空度1x10-8Pa，烘烤溫度20

真空離子規：真空計（Vacuum Gauge），是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行 氣壓的測量。英國AML公司生產研發的真空計可以測量高真空以及低真空不同階段的

真空電極：英國AML公司真空電極feedthrough是18路真空電極，每一個針腳是通過玻璃壓縮密封相比陶瓷密封更經濟、更穩定。

圓柱音圈電機：北京星微自動化科技有限公司圓柱音圈電機即直線音圈電機，推力從0-5000N，行程從0-100mm。磁利用率最 高，單位體內相比矩形音圈電機，擺角音圈電機出力要好一些，應用高頻直線運動、半

矩型音圈電機：矩形音圈電機是音圈電機的一種，推力從0-1000N，行程從0-200mm可以設計，推力和行程可根據客戶要求定制，可以實現高低溫以及耐真空環境的應用。矩形音圈電機近年來應用于主動隔震平臺較

擺角音圈電機：旋轉音圈電機采用矩型音圈電機系列產品的技術，將矩形系列產品予以彎曲，以形成一定的角度定位，滿足高性能的角度擺動。可以提供擺動角度90度，扭力達50 N-m。應用精密光學定位、高頻反射鏡、

耐輻照攝像機：耐輻射攝像機應用于核工業檢測以及核物理實驗，鏡頭可以支持水下耐輻射或者真空防輻射等復合工況，最 高可以達到2MGy的耐輻照強度。在核工業、核電站以及核物理實驗中廣泛應用。

上海鳴志步進電機絲杠滑臺：電動滑臺是工業自動化領域中能夠實現直線運動的一種傳動裝置，工業上又常稱為電缸、線性模組等。按照傳動方式不同一般分為：滾珠絲杠傳動式，同步帶傳動式和螺紋絲杠傳動式。其使用范圍廣

真空耐輻照步進電機：真空耐輻照步進電機，可以支持在真空度1x10^10mbar以內使用，溫度為-65°~+175℃，防輻射等級是1x10^6 Gy。電機型號及參數：型號

真空步進電機運動滑臺：真空步進電機運動滑臺的真空度可以達到1x10-8Pa,行程可達到25-650mm,精度可達0.1um,烘烤溫度可達200℃,防輻射可以到10*6Gy,也可以定制真空電機平臺，可以

真空高低溫電機：本公司生產的真空高低溫電機的溫度范圍可達-196℃~+200℃，真空度可以到1x10-10mbar.航天五院擁有成功的案例。電機型號及參數：型號

真空核輻射步進電機：英國AML生產的真空防輻射步進電機可以支持在真空度1x10^10mbar以內使用，溫度為-196°~+175℃，防輻射等級是1x10^6 Gy

防輻射伺服電機：北京星微自動化科技有限公司代理的真空伺服電機，輻射度可達1x10^6Gy 扭矩可達300Nm。