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    半間距擴(kuò)散上下料機(jī)

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    東莞市啟天自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司

    • 聯(lián)系人:晁曉鵬
    • 官網(wǎng)地址:www.cnqtkj.com
    • 經(jīng)營模式:制造商
    • 主營產(chǎn)品:石墨舟上下料機(jī),等離子清洗機(jī)60L,八道刻蝕下料機(jī),五道刻蝕下料機(jī),硅片數(shù)片機(jī)
    • 所在地:廣東省廣東省東莞市樟木頭鎮(zhèn)樟洋工業(yè)區(qū)富竹二街8號(hào)
    • 供應(yīng)產(chǎn)品:67
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    產(chǎn)品詳情

    Product details

    QT-100H-SYZD/QT-200H-SYZD應(yīng)用于將擴(kuò)散后石英舟內(nèi)的背靠背硅片導(dǎo)出并兩兩分開,然后分別入塑料硅片承載盒中,同時(shí)將未擴(kuò)散的硅片承載盒中取出,然后背靠背疊加放入石英舟內(nèi),每一槽放兩片,待擴(kuò)散面朝外

     

     

     

    設(shè)備特點(diǎn):

    1上下料一體化設(shè)計(jì)節(jié)約了工人搬運(yùn)石英舟及塑料硅片承載盒的勞動(dòng)強(qiáng)度,籃具在上下料的過程中緊湊相連,循環(huán)利用,提高

    整機(jī)的工作效率。所有入籃及入石英舟結(jié)構(gòu)均采用耐磨耐高溫自潤(rùn)滑結(jié)構(gòu)穩(wěn)定之材料導(dǎo)向。高精密叉子托附,依靠硅片自身重

    力入籃或入舟。大大降低了碎片率以及對(duì)載具的高精度要求

    2機(jī)器重要環(huán)節(jié)采用激光傳感器精準(zhǔn)定為,一旦運(yùn)轉(zhuǎn)偏離位置,機(jī)器自動(dòng)補(bǔ)償矯正。既提高了穩(wěn)定性,又提升了速度

    3真空吸盤采用精密耐高溫陶瓷結(jié)構(gòu),不變形、無污染、嬌片叉子采用高精度復(fù)合材料。








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    • 聯(lián)系人姓名:晁曉鵬
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    • 聯(lián)系人手機(jī):13790668580
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