爐體溫控控制在900到1300℃，溫度高精度可控，VB具有晶體和加熱爐體分別單獨升降；HB水平高精度移動等控制，運動速度0.01--50mm/小時可調(diào)，有效完成砷化鎵晶體生長。

爐體溫控控制在900到1300℃，溫度高精度可控，VB具有晶體和加熱爐體分別單獨升降；HB水平高精度移動等控制，運動速度0.01--50mm/小時可調(diào)，有效完成砷化鎵晶體生長。

爐體溫控控制在900到1300℃，運動速度0.01--50mm/小時可調(diào)，使晶棒內(nèi)部晶體重新排列。特點：爐體冷區(qū)和熱區(qū)之間采用獨特設(shè)計，可以達到15℃/cm的溫度梯度。

 LPE液相外延爐采用進口穩(wěn)定可靠的智能儀表，能夠?qū)崿F(xiàn)整個工藝過程的自動控溫。以進口直線電機為主體，系統(tǒng)定位且無抖動，加速度大能快速啟動，可快速精準的將生長材料移動至下一個生長點。 

 LPE液相外延爐采用進口穩(wěn)定可靠的智能儀表，能夠?qū)崿F(xiàn)整個工藝過程的自動控溫。以進口直線電機為主體，系統(tǒng)定位且無抖動，加速度大能快速啟動，可快速精準的將生長材料移動至下一個生長點。 

青島賽瑞達電子裝備股份有限公司是集高新技術(shù)裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家，產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體、光伏、LED、新能源、新材料等領(lǐng)域，公司于2005年注冊成立，屬于國家高新技術(shù)企業(yè)。  主要

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青島賽瑞達電子裝備股份有限公司是集高新技術(shù)裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家，產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體、光伏、LED、新能源、新材料等領(lǐng)域，公司于2005年注冊成立，屬于國家高新技術(shù)企業(yè)。  主要