此設備采用開路電壓衰減法設計，開路電壓衰減法是測試少子壽命的一種方法。適合于測量PN結參雜區的少子壽命。被測的PN結P側和N側要分別形成歐姆接觸。（測試的前題是必須形成PN結和歐姆接觸）。測試PN結兩端的電壓波形，即可反映少子壽命的變化情況。
少子壽命測試范圍：100nS—1mS；
測試樣品規格：Φ6—Φ75；
少子壽命測試重復性：≤2%；
測試形式：自動測試；
測試方法：開路電壓衰減法；

少子壽命測試是長基區少子壽命對器件的特性有一定的影響。通過監測少子壽命分析器件內部問題，對改善器件設計和工藝有一定的參考價值。