高壓反偏設備<p>在設定電壓（反偏電壓一直加）下對22個器件的漏電流依次進行測試，兩工位之間的測試時間間隔為10mS，22個工位測試完成后自動切換到下一組設定的電壓條件下進行測試，直到測試文件中設定的所有電壓測試條件完成后自動結(jié)束測試<br/>試驗電壓：直流電壓50V～3000V <br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 50V～1500V±3%±10V<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1500V～3000V±3%±10V<br/>&nbsp;單工位測試電流：10nA-1mA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 10nA～1000nA±3%±1nA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1uA～1000uA±3%±1Ua<br/>測試二極管規(guī)定反向電流下對應的電壓<br/>&nbsp;&nbsp; 試驗電流：1uA-200uA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1uA～20uA±3%±0.1uA<br/>&nbsp;&nbsp