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    濕法處理設備中國電科45所

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    中國電子科技集團公司第四十五研究所

    • 聯系人:李斌
    • 官網地址:www.45inst.com
    • 經營模式:其他機構
    • 主營產品:硅片甩干機,探針測試臺,硅片清洗刻蝕設備,太陽能光伏制造設備價格,激光打孔機價格
    • 所在地:北京市#北京市北京市大興區亦莊經濟技術開發區泰河三街1號
    • 供應產品:142
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    濕法處理設備中國電科45所

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    微機電系統(MEMS)是指用微機械加工技術制作的包括微傳感器、微致動器、微能源等微機械基本部分以及高性能的電子集成電路組成的微機電器件與裝置。四十五所研制的MEMS器件制造濕法處理設備包含濕法硅刻蝕、SiO2刻蝕、去膠清洗、金屬刻蝕、金屬剝離、RCA清洗等。    


    濕法處理設備中國電科45所

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