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    DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置

    • 價格

      ¥578
    • 起訂量

      1
    • 庫存總量

      9999FC
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    代理

    認證資料 Certification Data

    陜西慶成工業(yè)有限公司

    • 聯(lián)系人:張小姐
    • 經(jīng)營模式:其他機構(gòu)
    • 主營產(chǎn)品:雙金屬溫度計、耐磨熱電偶、裝配熱電偶、一體化熱電偶、PT100熱電阻、精密壓力表、HART375手操器、數(shù)字壓力校驗儀
    • 所在地:西安市大慶路10號
    • 供應產(chǎn)品:996

    產(chǎn)品詳情

    Product details

    DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置 主要技術參數(shù): ◆真空腔室尺寸:Φ350×H500mm; ◆真空腔室結(jié)構(gòu):立式前開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷; ◆真空系統(tǒng):擴散泵+機械泵+維持泵; ◆極限真空:5×10-4Pa; ◆真空測量方式:數(shù)顯復合真空計、薄膜壓力計; ◆基片臺尺寸:Φ100mm; ◆基片臺升降:80~100mm; ◆基片臺轉(zhuǎn)速:0~10轉(zhuǎn)/分(可調(diào)); ◆熱絲溫度:2000℃~2500℃; ◆襯底溫度:600℃~1000℃; ◆制膜種類:金剛石厚膜、類金剛石膜、氮化硅和碳化硅膜等; ◆工作電源:AC380 V,50Hz;整機功率5KW。電源型式:熱絲電源; ◆真空控制方式:手動按鈕控制; ◆工藝氣體控制方式:4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng); ◆報警及保護系統(tǒng):對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應保護措施。

    聯(lián)系方式

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    • 聯(lián)系人姓名:張小姐
    • 聯(lián)系人職位:銷售部
    • 聯(lián)系人手機:14791155325
    • 企業(yè)電話:-88763820
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