DH2004型 多功能微波等離子體實(shí)驗(yàn)裝置 由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微 波源產(chǎn)生頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導(dǎo)管傳輸，在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵(lì) 氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球。 　　可完成以下實(shí)驗(yàn)：微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備多種功能薄膜材料、微 波等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn)、材料表面改性和清洗等；適合大學(xué)物理、材料、化學(xué) 等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。