沈陽干式真空泵

干式真空泵主要用途
1、半導(dǎo)體:芯片生產(chǎn)、刻蝕、離子注入、PECVD、 PVD鍍膜；
2、平板顯示器:液晶灌注、PVD真空鍍膜、離子刻蝕；
3、LED:刻蝕、PECVD、 電子束蒸鍍、磁控濺射、藍(lán)寶石爐；
4、太陽能電池制造領(lǐng)域: PECVD、 層壓機(jī)、刻蝕、單晶爐；
5、石油化工:油汽回收、真空蒸餾、溶劑回收；
6、制藥:溶劑萃取、溶媒回收、真空干燥、真空濃縮7、食品:真空干燥、真空包裝。
干式真空泵產(chǎn)品特點(diǎn)
1產(chǎn)品安全可靠，符合CE及SEMI認(rèn)證；
2產(chǎn)品性能穩(wěn)定、可靠性高；
3產(chǎn)品運(yùn)行、維護(hù)成本低；
4產(chǎn)品工藝適應(yīng)性廣；
5產(chǎn)品具備智能控制模式，可提供多種應(yīng)用擴(kuò)展。